超ＬＳＩ工学入門

本書は普通高校過程卒をはじめとし、機械系卒、化学系卒、物理系卒、および、電気系卒などの高校出身者の方々を対象に、また、これからＶＬＳＩの設計開発、ウェファ製造、あるいは、電子機器の設計開発などの業務に携わる方々を対象に書かれている。従来のＬＳＩ／ＩＣの書物は電子物性や半導体物理面での解説が多かった。本書では、これら電子物性や半導体物理面は最小限の解説にとどめ、ＶＬＳＩを容易に理解できるように基本的なデバイス構造や基本回路等の基本事項に絞り、また、ＶＬＳＩの基本的な設計法を述べ、ＶＬＳＩのウェファ製造におけるユニット・プロセスなどについてまとめている。

目次

第１章　ＶＬＳＩ、ＩＣとは？
第２章　超ＬＳＩの基本デバイスと特性
第３章　超ＬＳＩの基本回路と特性
第４章　超ＬＳＩメモリと特性
第５章　超ＬＳＩの設計
第６章　超ＬＳＩの製造プロセスとユニットプロセス
第７章　リソグラフィ技術とパターン描画

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