プラズマエレクトロニクス

本書は、プラズマプロセス技術に対するニーズの高まりを背景に、時代に即応した新しい目でプラズマの教科書を見なおし、基礎的な考え方を把握してもらうことを念頭に書いたものである。プラズマをミクロな視点とマクロな視点に立ってわかりやすく説明し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を説明した。

目次

プラズマエレクトロニクスの学び方
プラズマをミクロに見よう
プラズマをマクロに見よう
プラズマが生まれるまで
プラズマのつくり方（直流放電
高周波放電、マイクロ波放電）
エレクトロニクスと環境工学へのプラズマ応用を学ぼう

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