走査型プローブ顕微鏡　基礎と未来予測

２０年前に発明された、走査型トンネル顕微鏡は、個々の原子を見る顕微鏡としてだけでなく、原子・分子を計測し、原子・分子を操作できるマニピュレータとしての機能をもつことが示された。このように個々の原子や分子を見ながら動かして組み立てるという人類の長年の夢が身近になりつつある。また、その後に発明された原子間力顕微鏡はミクロな表面を見て評価する計測装置として産業分野にも広く普及しつつあるだけでなく、走査型トンネル顕微鏡に続く次世代の原子・分子技術に成長しつつある。このように、走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡に代表される走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）は２１世紀の「ナノテクノロジーの時代」、およびそれに続く「原子・分子の科学と技術の時代」の基盤技術としての地位を着実に固めつつある。本書はこの走査型プローブ顕微鏡の歴史や現状を分析し、ナノテクノロジーがつくりだす３０年後の未来を明らかにすることを目的として書かれたものである。

目次

１　２１世紀の科学と技術の動向（２１世紀初頭にはナノテクノロジーの時代が到来
２１世紀前半は原子・分子の科学と技術の時代への転換期
走査型プローブ顕微鏡の原理と歴史　ほか）
２　走査型プローブ顕微鏡装置（走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）
近接場光学顕微鏡（ＮＳＯＭ）　ほか）
３　走査型プローブ顕微鏡の応用（ＬＳＩプロセスデバイスへのＳＰＭによる評価
量子構造の評価
半導体材料の評価　ほか）
４　各種ＳＰＭの理論（電界放射顕微鏡（ＦＥＭ）
走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）　ほか）

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