半導体工学

半導体は電子デバイスをつくるにあたって最も重要な材料で、日常の快適な生活や産業のあらゆる分野でなくてはならないものです。本書は、メーカーおよび大学教育の双方を熟知している著者が、「半導体工学」の最新のエッセンスをわかりやすくまとめたものです。各章末には、「本章のポイント」、「演習問題」、およびコーヒーブレーク的な話題「ＰＡＵＳＥ」をのせ、学習効率が高まるよう工夫。問題解答は巻末に掲載しています。

目次

第１章　結晶の基礎
第２章　格子の熱振動
第３章　固体のバンド理論
第４章　半導体の基礎理論
第５章　半導体の接触と接合
第６章　Ｓｉ半導体と単体デバイス
第７章　Ｓｉデバイスプロセス
第８章　集積化プロセス技術
第９章　光物性とデバイス
第１０章　３‐５族化合物半導体

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