半導体用特殊材料ガス供給システムデザイン
発売日：1999年1月
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商品説明
著者が作成した特殊材料ガス集中供給設備工事の設計書類、論文、講習会に使用したテキストを加筆訂正し、設計者、ガス取扱者、特殊材料ガスに関係のある方々に、システムの在り方、問題点を計算例を交え解説した半導体用特殊材料ガス供給システムのデザインマニュアル。
商品詳細
- 出版社名
- リアライズ理工
- フォーマット
- 単行本
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