ＬＩＧＡプロセス　進展する三次元超微細加工技術

本書は、ＬＩＧＡ技術の入門から応用に至る一連の技術の流れを、専門の研究者・技術者だけでなく、初心の読者にもわかりやすく解説している。第１章では、ＬＩＧＡ技術の原理と歴史的変遷、そして現状の概要が紹介され、第２章では、ＬＩＧＡ技術による実際の製作工程と、要素技術が解説されている。第３章では、試作事例として、幾つかの実際に試作された応用例が紹介され、第４章では、国内外の状況として、国内および海外におけるＬＩＧＡ関連施設、ならびに活動の状況が報告されている。第５章では、今後の展望ということで、ＬＩＧＡ技術の経済性と市場性の将来展望と、ＬＩＧＡ技術に関するアンケート調査の結果が紹介されている。

目次

第１章　ＬＩＧＡ技術とは
第２章　製作工程と要素技術
第３章　試作事例
第４章　国内外の状況
第５章　今後の展望

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