マイクロ加工の物理と応用

本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、それに初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。

目次

１　マイクロ加工の意義
２　光・電子・イオン
３　粒子と固体との相互作用
４　加工現象
５　加工装置
６　マイクロマシニング

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