超高真空

加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などなどたくさんの研究開発を支える基盤技術―超高真空。本書はいまやエレクトロニクス分野では不可欠なものとして利用されるようになった超高真空の技術と、いまどのような新しい発見がなされているかをわかりやすく解き明かします。

目次

１章　超真空をつくる
２章　超高真空を制御する
３章　超高真空中で駆動する
４章　超高真空中を利用する
５章　超高真空を利用したビックサイエンス

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