半導体製造の技術開発

発売日：1994年10月

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商品説明

半導体の技術開発
半導体産業への品質工学の導入
半導体の関連技術と品質工学
プロセスデバイス・シミュレーションによるＭＯＳトランジスタの安定性設計
安定なＭＯＳトランジスタの設計
ＩＣ微細加工へのパラメータ設計の適用
レジストパターニング性能の向上
レジスト塗布工程における塗布条件の最適化〔ほか〕

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