エレクトロニクスデバイスと薄膜

エレクトロニクスにおける重要な材料の一つが薄膜である。薄膜の役目は超微細な接続を行うことであり、バルクには期待できない性能・特性を実現することである。本書は、エレクトロニクスデバイスにおける薄膜の働きを解説した。

目次

第１章　薄膜形成用材料
第２章　Ｓｉ　ＩＣデバイス
第３章　ＧａＡｓ　ＩＣデバイス
第４章　光デバイス
第５章　センサデバイス
第６章　表示デバイス
第７章　入力と記録・記憶デバイス
第８章　エレクトロニクス部品
第９章　将来のデバイス

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