コンピュータによるシリコンテクノロジー 2
発売日:1990年5月
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商品説明
目次
1 点欠陥・不純物の拡散と電子構造
2 シリコンの点欠陥と拡散―実験
3 深い不純物準位の電子構造の計算と物質設計
4 シリコン中の酸素析出プロセス
5 FZおよびCZシリコン結晶中の点欠陥の挙動
6 シリコン中の結晶粒界の原子構造と電子構造
7 太陽電池のシミュレーション
8 シリコン・シリサイド界面―理論
9 SiO〓2/Si界面状態と素子特性
10 シリコンデバイスのシミュレーション
商品詳細
- 出版社名
- 海文堂出版
- 対象年齢
- 専門家
- フォーマット
- 単行本
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