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  • X線反射率法入門 新版

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X線反射率法入門 新版

  • 桜井健次/編著 桜井 健次
    工学博士。1988年東京大学大学院工学系研究科博士課程修了。現在、国立研究開発法人物質・材料研究機構先端材料解析研究拠点上席研究員。筑波大学大学院教授を兼務

  • ISBN
    978-4-06-153296-0
  • 発売日
    2018年06月

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商品の説明

  • 旧版で好評だった部分の質はそのままに、X線反射率イメージング・中性子反射率法などの新手法や新しい応用例を追加。待望の改訂版。
目次
1 X線反射率の基礎
2 X線反射率の測定装置と測定方法
3 X線反射率のデータ解析法
4 X線反射率のデータ解析の注意事項
5 微小領域分析およびイメージングへの展開
6 時々刻々変化する系の追跡への展開
7 X線反射率法の応用
1.1 光とX線
1.2 X線反射率法の特徴
1.3 膜密度はどのように決まるか
1.4 膜厚はどのように決まるか
1.5 膜の表面・界面粗さはどのように決まるか

2.1 X線反射率測定装置に必要な条件
2.2 X線反射率測定装置の実際
2.3 反射率の測定方法
2.4 散漫散乱測定
2.5 平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定
3.1 はじめに
3.2 X線反射率のデータ解析の前に
3.3 最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順
3.4 単層膜の解析と精度の評価
3.5 多層膜の解析と精度の評価

4.1 はじめに
4.2 理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
4.3 個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方
4.4 最小二乗フィッティング計算に由来する問題
4.5 構造モデルに過度に依存しない解析の試み

5.1 顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合
5.2 放射光ナノビームによる微小領域分析
5.3 高エネルギー白色X線による微小領域分析
5.4 画像再構成法によるイメージング
5.5 微小領域分析・イメージングの今後
6.1 はじめに
6.2 多チャンネルX線反射率法(Naudonの方法)
6.3 白色X線反射スペクトル法
6.4 従来の角度走査型の装置によるその場計測
6.5 時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来
7.1 半導体薄膜
7.2 ハードディスク
7.3 X線光学用多層膜
7.4 電気化学界面などの固液界面
7.5 有機・高分子薄膜

8 X線反射率法と併用すると有意義な関連技術
8.1 微小角入射蛍光X線分析法
8.2 微小角入射X線回折法
8.3 共鳴軟X線スペクトル法
8.4 GISAXS法
8.5 X線光子相関分光法
9 中性子の利用
9.1 はじめに
9.2 中性子反射光学の基礎
9.3 中性子反射率法の

商品詳細情報

フォーマット 単行本
サイズ 21cm
対象年齢 一般
版数 新版
初版の取り扱いについて 初版・重版・刷りの出荷は指定ができません。
また、初版にのみにお付けしている特典(初回特典、初回仕様特典)がある商品は、
商品ページに特典の表記が掲載されている場合でも無くなり次第、終了となりますのでご了承ください。

商品のおすすめ

【本書の特徴】
・表面・界面におけるX線の全反射現象の基礎をわかりやすく説明した。
・実験方法やデータ解析法を具体例とともにていねいに解説した。
・なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの立場から詳細に解説した。
・半導体、磁性体、光学多層膜、固液界面、有機薄膜、液体表面などの応用事例を紹介し、中性子の利用についても取り上げた。
(「近刊情報」より)

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