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ナノインプリントの開発と応用

  • 松井真二/監修 古室昌徳/監修 松井 真二(マツイ シンジ)
    兵庫県立大学高度産業科学技術研究所教授

    古室 昌徳(コムロ マサノリ)
    (独)産業技術総合研究所つくばセンター次長

  • シリーズ名
    エレクトロニクス材料・技術シリーズ
  • ISBN
    978-4-88231-525-4
  • 発売日
    2005年08月

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商品の説明

  • ▼内容:総説,転写方式(熱・室温・光ナノインプリント,ソフトリソグラフィ,ナノキャスティング法),ナノインプリント装置,モールド,離型剤/電子・磁気・光学・バイオ分野,マイクロ流体デバイスへの応用展開
目次
第1章 総説(転写方式
周辺技術 ほか)
第2章 転写方式(熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ
室温ナノインプリント技術 ほか)
第3章 装置と関連部材(ナノインプリント装置
モールド ほか)
第4章 デバイス応用(電子・磁気・光学デバイス
光デバイス ほか)

商品詳細情報

フォーマット 単行本
サイズ 27cm

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