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  • 微細加工技術 応用編 フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用

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微細加工技術 応用編 フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用

  • シリーズ名
    ポリマーフロンティア21シリーズ 18
  • 巻の書名
    フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用
  • ISBN
    978-4-86043-026-9
  • 発売日
    2003年07月

24,400 (税込:26,840

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商品の説明

  • 微細加工技術は電子デバイス、光デバイス、マイクロマシニングなどへの適用技術により、化学合成・情報・通信・印刷・医療など多くの分野で新たな展開の原動力となろうとしている。これらの分野における応用技術としてのナノ領域における加工技術について解説。
目次
1 SPMを利用したナノスケールでの加工
2 高分子材料の微細加工技術と光導波路への適用
3 立体マイクロマシニングの光MEMSへの応用
4 マイクロ光造形法を利用した医療デバイス・化学ICチップへの応用
5 インプリント技術の現状と展望
6 有機半導体トランジスタの最近の進展

商品詳細情報

フォーマット 単行本
サイズ 27cm

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