最新実用真空技術総覧

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ISBN
978-4-86043-559-2

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商品説明

「実用真空技術総覧」(産業技術サービスセンター 1990年刊)の改題、改訂新版

目次

第1部 真空工学の基礎(希薄気体の性質
真空ポンプ
真空計測器
真空部品
真空材料
真空装置の取扱い
環境・安全・衛生対策と保守)
第2部 真空応用システム(低・中真空の利用
金属材料の加工
薄膜
分子ビーム技術
表面分析
巨大真空システム
真空が牽引する次世代先端科学技術
環境・安全・衛生対策と法規
計算物理)

商品詳細

出版社名
エヌ・ティー・エス
フォーマット
単行本

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