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  • 酸化物薄膜・接合・超格子 界面物性と電子デバイス応用

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酸化物薄膜・接合・超格子 界面物性と電子デバイス応用

  • 澤彰仁/著 澤 彰仁
    1967年鳥取県生まれ。1989年筑波大学第三学群基礎工学類卒業。1991年筑波大学大学院理工学研究科修士課程修了。通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究官。2001年筑波大学博士(工学)。(独)産業技術総合研究所主任研究員。2002年~2003年アウグスブルク大学客員研究員。2008年(独)産業技術総合研究所研究グループ長。2015年(国研)産業技術総合研究所副研究部門長

  • シリーズ名
    物質・材料テキストシリーズ
  • ページ数
    324p
  • ISBN
    978-4-7536-2309-9
  • 発売日
    2017年04月

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商品の説明

目次
第1章 薄膜作製・評価・微細加工技術
第2章 酸化物薄膜成長
第3章 酸化物ダイオード
第4章 酸化物トンネル接合
第5章 酸化物超格子と2次元電子系
第6章 酸化物電界効果トランジスタ
第7章 酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用

商品詳細情報

サイズ 21cm
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また、初版にのみにお付けしている特典(初回特典、初回仕様特典)がある商品は、
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